高能低溫等離子氧化催化技術是一種先進的空氣汙染治理技術，它結合了低溫等離子體技術和催化氧化技術的優點，具有能耗低，能源利用率高，高選擇性，高淨化率，應用便利等優勢，在環境治理領域有廣泛的應用前景。
低溫等離子體係中電子在增強電場的作用下受到激勵，這些高能電子與氣體分子（O2，H20）發生碰撞，將氣體分子激發到高能級。高能級分子由於量能增加導致鍵斷裂，生產強氧化自由基·O，·OH，OH2。同時，VOC分子在高能電子的碰撞激發下，形成小脆片基團和原子。這些碎片基團和有機物分子在強氧化基團以及其他活性離子的作用下被去除，轉化成CO2，H20以及其他降解產物。